シングルナノオーダーの微細加工
電子ビーム描画装置 ELS-F125
ELS-F150は、電子ビーム描画装置としては世界最高の加速電圧である150 kV印加可能な超微細加工に特化した電子ビーム描画装置です。 現在、世界の主要な研究機関に於いて最先端の研究用装置として使われているELS-F125を母体とし、最大印加できる加速電圧を150 kVまで上げ、シングルナノオーダーの微細加工を容易に実現!
シングルナノオーダーの微細加工
電子ビーム描画装置 ELS-F125
ELS-F150は、電子ビーム描画装置としては世界最高の加速電圧である150 kV印加可能な超微細加工に特化した電子ビーム描画装置です。 現在、世界の主要な研究機関に於いて最先端の研究用装置として使われているELS-F125を母体とし、最大印加できる加速電圧を150 kVまで上げ、シングルナノオーダーの微細加工を容易に実現!
sSQUID
極低温SQUID顕微鏡